ダイアフラムとは、圧力計などに用いられる弾力性のある円盤状の受圧素子です。

弾力性を生かし、膨張・収縮により圧力などを感知します。

ダイアフラム圧力計は電圧素子により下記の二つに分けられます。

①    半導体歪ゲージ式

ダイアフラム表面に半導体を設置しダイアフラムの歪を感知する。

②    静電容量式

ダイアフラムの変位を感知する。